憑借其可配置的大容量腔室，手動加載的EcoCoat硅烷氣相沉積系統(tǒng)旨在滿足您的工藝開發(fā)和批量生產要求。 三條獨立的蒸汽輸送管線，出色的熱均勻性和原位氣體等離子體為系統(tǒng)提供了工藝靈活性，同時為晶圓，載玻片或熱塑性表面保持了優(yōu)異的硅烷單層沉積均勻性。
?表面改性以促進/防止粘附
?用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜
?生物分子與玻璃，塑料或硅的共價鍵合
?等離子清潔和活化表面，控制疏水性
靈活的化學蒸汽輸送系統(tǒng)可與多種有機硅烷兼容。 可以使用小型測試瓶或大型安瓿瓶，從而實現從研究到低成本的大批量生產的過渡。 三個獨立的蒸汽輸送管線可容納多種前體或水，以實現表面水合，從而實現最佳的硅烷與底物的結合。 集成的等離子體功能通過三個獨立的MFC控制的過程氣體輸入來實現。 靈活的腔室擱板/電極允許從晶片（200/300 mm）到載玻片和3D熱塑設備使用各種各樣的基板形狀因子。
射頻等離子體頻率/功率：40 kHz，100-1000瓦
工作溫度：環(huán)境溫度205°C
溫度均勻度：穩(wěn)定后±1.5％
腔室壓力控制：100 mT-100 T
化學用量：0.1 – 3.0 mL（典型過程）
化學分配量：增加0.1 mL
化學物數量：最多三種
排氣量：平均10 SCF運行
箱體材質：316L不銹鋼
腔室尺寸：40.6厘米（寬）x 46厘米（深）x 40.6厘米（高）（16“ x 18” x 16“）
系統(tǒng)整體尺寸：116厘米（寬）x 98.4厘米（深）x 112.73厘米（高）（46英寸x 38.75英寸x 44.38英寸）燈塔增加了30厘米
裝載：12個可移動的不銹鋼架子可實現靈活的基板裝載和多種等離子體操作模式，包括有源，下游，RIE和離子阱
晶圓容量：8盒100毫米-150毫米晶圓/ 2盒200毫米晶圓/ 1盒300毫米晶圓
滑軌容量：使用定制機架最多可容納2,000個
蒸汽輸送線：三條，具有獨立的過程和溫度控制
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